ROTAREX调压阀RX2200系列技术参数
Specifications | |
Max. inlet pressure | 240 bar |
Outlet pressure | 3/8/10/15/25/50 bar |
Temperature range | -20°C to +65°C |
Flow capacity (cv) | 0.2 |
Burst pressure* | 300% of operating pressure |
Proof pressure* | 150% of operating pressure |
Supply pressure effect i* | 1.35 bar / 100 bar |
Certified max. helium outboard leak rate | ≤ 1 x 10-9 mbar.l/s |
Certified max. helium across the seat leak rate (at max. pressure) | ≤ 1 x 10-7 mbar.l/s |
Certified max. helium inboard leak rate (at max. pressure) | ≤ 1 x 10-9 mbar.l/s |
ROTAREX调压阀RX2200系列介绍
进行了100% 功能性和氦气泄漏测试
Hastelloy隔膜
内部弹簧和无螺纹可满足最高的 UHP 要求
在洁净室中组装、测试和包装:ISO 4 级
用于完全可追溯性的单独序列号
提供耐腐蚀内部选项:Hastelloy提升阀
根据 SEMI F19 UHP 等级的电解抛光表面粗糙度
可提供润湿区域的涂层选项
316L VAR 不锈钢双熔体,每个 SEMI F20 选项可用
流体特定阀座材料作为标准选项
额外的多端口选项
100% Functional & Helium Leak Test performed
Hastelloy diaphragm
Internally spring- and threadless for highest UHP requirements
Assembling, testing & Packaging in cleanroom: Class ISO 4
Individual serial number for full traceability
Corrosion resistant internal option available: Hastelloy poppet
Electropolished surface roughness per SEMI F19 UHP Grade
Coating option of wetted areas is available
316L VAR stainless steel double melt per SEMI F20 option available
Fluid specific seat material as standard options
Additional multi-port options
ROTAREX调压阀RX2200系列选型
ROTAREX调压阀其他常用系列:
ROTAREX RX1000
ROTAREX RX2200
ROTAREX RX2400
ROTAREX RX2500
ROTAREX RX2225V2V16F6F
ROTAREX pressure regulators NEW + ORIGINAL+ ONE YEAR WARRANTY
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ROTAREX调压阀RX2200系列RX2225V2V16F6F技术参数及选型