SHINSUNG过滤单元EFU系列技术参数
SPECIFICATIONS | |
DIMENSIONS (mm) | 1167W x 572D X 260H with filter |
POWER | 1Ø - 200~220 V - 50/60Hz BLDC MOTOR |
EXTERNAL STATIC PRES SURE (mmAq) | 0.0 |
PRES SURE (mmAq) | 28.8 Wind Tunnel |
AIR VELOCITY (m/s) | 0.80 Filter media area] |
POWER CONSUMPTION (W) | 183.0 ± 5% |
ELECTRIC CURRENT (A) | 0.876 ± 5% |
Power Factor | 0.95 |
NOISE dB(A) | 61.5 1m under Filter ± 5% |
VIBRATION (mm/s, um) | less than 1.0mm/s on mould bar |
TEST FILTER SPEC. | Initial pressure drop 8.5mmAq at rated air velocity 0.35m/s |
SHINSUNG过滤单元EFU系列介绍
设备风扇过滤单元（EFU）
在半导体和 FPD 生产设备的顶部或侧面
安装它是为了保持设备内部的压力并提供清洁的空气，以保持设备内部的清洁。
应用领域
ICR 洁净室、ME 设备、腔室
Equipment Fan Filter Unit (EFU)
On top or side of semiconductor and FPD production equipment
It is installed to maintain the pressure inside the equipment and supply clean air to keep the inside of the equipment clean.
Field of application
ICR clean room, ME equipment, chamber
SHINSUNG过滤单元EFU系列其他常用型号：
SHINSUNG EFU5001BL
SHINSUNG EFU320BL
SHINSUNG EFU500OBL
SHINSUNG EFU5000HBL
SHINSUNG EFU321BL
SHINSUNG EFU322BL
SHINSUNG EFU325BL
SHINSUNG EFU326BL
SHINSUNG EFU400BL
SHINSUNG EFU320S-BL
SHINSUNG EFU321S-BL
SHINSUNG EFU-320-BL(D)-ULPA
SHINSUNG Filter Unit NEW + ORIGINAL+ ONE YEAR WARRANTY
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SHINSUNG过滤单元EFU系列EFU-320-BL(D)-ULPA技术参数介绍
