SHINSUNG过滤单元EFU系列介绍
设备风扇过滤单元（EFU）
产品信息
在半导体和 FPD 生产设备的顶部或侧面
安装它是为了保持设备内部的压力并提供清洁的空气，以保持设备内部的清洁。
应用领域
ICR 洁净室、ME 设备、腔室
Equipment Fan Filter Unit (EFU)
Product information
On top or side of semiconductor and FPD production equipment
It is installed to maintain the pressure inside the equipment and supply clean air to keep the inside of the equipment clean.
Field of application
ICR clean room, ME equipment, chamber
SHINSUNG过滤单元其他常用型号：
SHINSUNG EFU5001BL
SHINSUNG EFU5000HBL
SHINSUNG Filter Unit NEW + ORIGINAL+ ONE YEAR WARRANTY
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SHINSUNG过滤单元EFU系列EFU5000HBL介绍
