MOTT过滤器Sentry系列技术参数
SPECIFICATIONS | |
Particle Removal Size: | > 0.0015 µm |
Filter Efficiency (Log Reduction Value): | ≥ 9 LRV (99.9999999% reduction in particles). |
Helium Leak Ratig: | 1 x 10-9 atm cc/sec |
Moisture Contributio: | <10 ppb after 1 hour at low-flow ambient purge per SEMI F27 test method |
Total Hydrocarbons: | Below detectable limits per ASTM F1398 test method |
Particle Shedding: | Zero particle contribution above background (<1 particle/ft³) per SEMI F43-0308 test method |
Maximum Operating Temperature | 450° C |
MOTT过滤器Sentry系列介绍
Sentry 系列使用点过滤器是经济高效的全金属高纯度气体过滤器，采用 Penta 镍介质，可对小至 0.0015 µm 的颗粒进行 9 对数过滤，从而产生无颗粒气体。
The Sentry Series point-of-use filters are cost-effective, all-metal, ultra high purity gas filters that utilize Mott patented Penta nickel media and provide 9-log filtration of particles down to 0.0015 µm, resulting in particle-free gas.
MOTT过滤器Sentry系列其他常用型号：
MOTT SEN331NFF11
MOTT SEN280NFP11
MOTT SEN112NTT11
MOTT SEN280NIFP11-10000 SCCM C2H2
MOTT GAS FILTERS NEW + ORIGINAL+ ONE YEAR WARRANTY
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MOTT过滤器Sentry系列SEN280NIFP11-10000 SCCM C2H2技术参数及介绍
