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TKF过滤器ST-H系列

请注意:照片可能并不是实际产品,具体请参阅标题和产品规格及所有细节描述。
产品品牌:
型号:ST-H300-8VM
TKF过滤器ST-H300-8VM
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TKF过滤器ST-H系列技术参数

Removal Rating

≥ 0.0025μm

Retention

Greater than 99.9999999% Removal of all particles down to 0.0025μm

Rated Flow @ 109

150 SLPM (Max 200 SLPM)
300 SLPM (Max 400 SLPM)

Materials

Filter element / Support / O-ring PTFE / PFA / PTFE
Electropolished housing 316L Stainless steel / 316L Stainless steel VAR

Operating Conditions

Maximum inlet pressure 0.98 MPa (10kgf/cm2) at 20°C
Maximum differential pressure 0.4 MPa (4.2kgf/cm2) at 20°C
Maximum operating temperature 120°C (Inert gas)

Helium Leak Rating

1 x 10-9 atm·cc/sec

Surface Finish Interior

≤ Ra 5μinch

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TKF过滤器ST-H系列产品介绍

超高纯度最大直列气体过滤器

全氟聚合物滤芯

电抛光316L不锈钢外壳

PTFE 元件具有出色的耐腐蚀性和与大多数高纯度半导体工艺气体的良好兼容性

3 纳米颗粒过滤能力保持高流动效率和低压降

5Ra电抛光表面可防止内部污染

去离子水清洗后用热氮气烘烤,以满足半导体工艺标准

100级制造、清洁和包装环境

100% 氦气泄漏测试

 

Ultra-high purity Max in-line gas filter

Perfluoropolymer filter element

Electropolished 316L stainless steel housing

PTFE element offers excellent corrosion resistance and good compatibility with most high purity semiconductor process gases

3 nanometer particle filtration capability maintains high flow efficiency and low pressure drop

5Ra electropolished surface prevents internal contamination

Deionized water rinsed followed by hot nitrogen bakeout to meet semiconductor process standards

Class 100 manufacturing, cleaning and packaging environment

100% helium leak tested

 

TKF过滤器ST-H系列规格尺寸

TKF过滤器ST-H300-8VM爱泽工业izeindustries.png 

 

TKF过滤器ST-H系列其他常用型号:

TKF ST-H150-4VM

TKF ST-H150-4SW

TKF ST-H300-6VM

TKF ST-H300-6SW

TKF ST-H300-8SW

TKF ST-H300-8VM

 

TKF Filters NEW + ORIGINAL+ ONE YEAR WARRANTY

 

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如果有任何关于TKF过滤器ST-H300-8VM的疑问,请随时与我们沟通(021-31006702)。我们将尽全力解决您的问题。

 

If you have any question for TKF products, please feel free to dial 0086-21-3100 6702/ send request email to sales@ize-industries.com / browse our website:www.ize-industries.com.

 

TKF过滤器ST-H系列ST-H300-8VM技术参数及介绍

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